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随着-的设备和工艺的发展，使纳米量级的测量成为可能。例如，变相光学干涉仪测量物体的表面粗糙度，目前可以达到1纳米的分辨率。在半导体领域，已生产出线宽在亚微米量级的集成电路，提出测量准确率小于50纳米的精度要求。为了提高旋转台系统的稳定性，我们可以将系统与振源隔离。外界的振源来源很多，比如地面的自振，各种声音等等。但是影响z大的是各种低频的振源，主要集中在10～100hz频率内。将系统与这些振源隔离可以有效的提高系统的稳定性。采用大阻尼的气囊支撑方式可以较好的将系统与振源隔离。

平面度surface flatness：光学平台的平面度，通常是指单位面积内，被测实际表-对其理想平面的变动量。通常国外光学平台的平面度指标为：±0.1mm/600mm×600mm，中航世纪的光学平台，通过精密磨削工艺，将平面度指标提高到0.02 ～ 0.05mm/600mm×600mm。但严格-来说，光学平台平面度，对于隔振性能，没有任何影响，甚至若为了追求高平面度，往往会-掉光学平台的隔振性能。

光学平台的平面度在使用时，实际意义不大。我们以非常平整的台面实际上是不可能的来看，若长×宽×厚为：2000×1000×200mm，通常调整水平时，水平仪的z小刻度为±30′，若假设实际过程中，水平方向调整精度若为5′，长度方向取2000mm，那么，台面长度方向两端的高度差=2000×tan5′2.9mm，也就是说，就算非常平整的台面，调整水平后，台面长度方向两端的高度差很有可能达到3mm，所以实际使用情况中，平面度的指标意义不大

1、 马氏体不锈钢1cr13(410)基体为马氏体组织，有磁性，通过热处理可以调整其力学性能的不锈钢，通俗地说，是一类可硬化的不锈钢。马氏体的三维组织形态通常有片状或者板条状，但是在金相观察中通常表现为针状。高的强度和刚性是钢中马氏体的主要特征之一。焊接平台需要-的强度和刚性，所以选用马氏体不锈钢1cr13(410。

2、铁素体不锈钢1cr17(430)基体为体心立方晶体结构的铁素体组织α相为主，有磁性，这类钢具导热系数大，膨胀系数小、防氧化性好、抗应力腐蚀优良等特点。但塑性差、焊后塑性和耐蚀性明显降低等缺点，因而-了它的应用。蜂窝平台不需要采用焊接工艺，且其强度和刚性主要靠内部紧密的蜂窝内芯提供，所以选用铁素体不锈钢1cr17(430)。

3、 奥氏体不锈钢0cr18ni9(304)基体为面心立方晶体结构的奥氏体组织γ相为主，无磁性，奥氏体不锈钢由于含铬镍较高，耐腐蚀和防氧化性能较好，高韧性和塑性，具有-的加工性和和可焊性。由于奥氏体不锈钢具有-的综合性能，在各行各业中获得了广泛的应用。无磁平台需要不导磁，所以选用奥氏体不锈钢0cr18ni9(304)。